佛山碱性抛光液厂家
高介电材料钛酸锶钡化学机械抛光用的纳米抛光液:一种用于半导体器件中高介电常数介电材料钛酸锶钡(BaxSr1-xTiO3,BST)化学机械抛光(CMP)的纳米抛光液。该CMP纳米抛光液包含有纳米研磨料、螯合剂、pH调节剂、表面活性剂、消泡剂、杀菌剂及溶剂等。该抛光液损伤少、易清洗、不腐蚀设备、不污染环境,主要用于新一代高密度存储器(DRAM)电容器介电材料及CMOS场效应管的栅介质——高介电常数介电材料钛酸锶钡的全局平坦化。利用上述纳米抛光液采用化学机械抛光方法平坦化高介电常数介电材料钛酸锶钡,抛光后表面的粗糙度降至0.8nm以下,抛光速率达200~300nm/min;抛光后表面全局平坦度高,损伤较少,是制备超高密度动态存储器(DRAM)及CMOS场效应管时高介电材料平坦化的一***抛光液。本公司销售的氧化硅抛光液高纯度(Cu2+含量小于50 ppb),有效减小对电子类产品的沾污。佛山碱性抛光液厂家
氧化铝抛光液的酸碱度就是抛光液的pH值,当抛光液的pH值为9.6时,抛光液的机械作用远大于化学作用,去除速率比较大,导致抛光后抛光片表面产生高损伤层,粗糙度比较大。
当抛光液的pH值增大为10.84~11.34时,机械作用和化学作用达到一种对等状态时,此时化学作用的均匀性好,使得表面张力小,质量处理的一致性好,可以得到良好的表面抛光效果。
当pH值大于11.67时,SiO2水溶胶在强碱的作用下,生成易溶于水的硅酸氨,使得硅溶胶中的SiO2颗粒不能起到磨削作用,变成透明的液体,此时机械作用基本失效,抛光以化学作用为主,表面蚀坑增多,使得表面粗糙度重新增加。 国产抛光液本公司销售的氧化铝抛光液颗粒分散均匀,不团聚,有效避免抛光过程中由于颗粒团聚导致的工件表面划伤缺点。
集成电路铜互连一步化学机械抛光工艺及相应纳米抛光液:一种用于集成电路多层互连结构铜/钽化学机械抛光(CMP)的一步抛光工艺技术及相应纳米抛光液。对于互连结构的铜/钽多层膜体系的化学机械抛光,通过本发明的“一步抛光工艺”,单头抛光机能够代替昂贵的多头抛光机,实现多层膜的分步抛光。通过化学机械抛光过程中多层膜体系界面间在线检测信号(声学、力学、电学或光学信号)差异的反馈,对抛光液实施分段应用,有效改善了原有的单一抛光液或分步抛光中存在的低速率及选择性问题。该抛光工艺及相应纳米抛光液有效改善了单一抛光液的速率问题;以单头抛光机代替多头抛光机,降低了设备成本;同时抛光后表面损伤少、易清洗,抛光液不腐蚀设备、不污染环境。
抛光液的使用说明
一、抛光液特性 抛光液是一种不含任何硫、磷、氯添加剂的水溶性抛光剂,具有良好的去油污,防锈,清洗和增光性能,并能使金属制品超过原有的光泽。本产品性能稳定、***,对环境无污染等作用
二、抛光液用途 抛光液适用于铅锡合金,铜,锌合金,不锈钢,铝合金,铁等金属零部件的抛光,光亮度可达12级,可取代多种进口抛光剂和抛光粉。
三:抛光液技术指标 抛光液项目指标测试方式: PH值 5.5—6.5 ***PH值试纸 外观 黄色粘稠液体 目测 粘度 500—100cps 粘度器测定 用氧化硅抛光液,经过化学-机械抛光可在焊料上发生腐蚀,还有轻微的抛光浮凸,但却不会损伤样品。
纳米氧化铈水分散液(纳米氧化铈抛光液)
关键词:纳米氧化铈抛光液 氧化铈抛光液 研磨液电解抛光液 蓝宝石抛光液 不锈钢抛光液、金属抛光液、瓷砖抛光液该纳米氧化铈抛光液分散性好,质量稳定,久置不分层不沉淀,可极大提高抛光效率和精度,生产流程不会引入金属离子。
产品说明: 本品外观为白色液体,氧化铈纳米粒子平均粒径为20nm,氧化铈含量不低于30%,分散介质为去离子水,pH在9-10,0.5%-1%的悬浮稳定剂。生产流程不引入金属离子。 产品应用:
1)精密仪器抛光 本品不含碱金属离子,粒径小,粘度很低,为晶体硅、LED、高精密玻璃等器件的抛光需求而研发生产。不含有害成分,除氧化铈外,悬浮剂为环保成分不会对环境和人体带来间接危害。
2)防紫外线 添加于特种涂料、遮阳伞、玻璃等便可制得防紫外线的特种产品,用于塑料中更是可以起到防老化的效果。
3)隔热功能 由于纳米氧化铈有***的隔热性能,本品亦是隔热涂料中不可或缺的成分。
4)催化剂 在催化剂中加入本品可明显减少贵金属用量并改善催化性能,使催化器的价格大幅下降。氧化铈还能与纳米氧化钛制成光催化剂,用于***陶瓷和富氧离子环保涂料等。 抛光液具有良好的去油污,防锈,清洗和增光性能,并能使金属制品显露出真实的金属光泽。佛山碱性抛光液厂家
本公司销售的纳米抛光液应用范围:气相沉积材料、荧光材料、特种玻璃、复合材料和树脂材料。佛山碱性抛光液厂家
氧化铝抛光液适用于金相样品的**终抛光,纳米级的悬浮液,如同牛奶般丝滑有质感,静止一定时间后,溶剂和氧化铝颗粒会自然分层,上层呈半透明水样,氧化铝颗粒沉积在下层,使用前需要摇匀。摇匀后的氧化铝抛光液就跟牛奶似的了。做铸铁、钢、不锈钢、铜、聚合物、矿物质、微电子、贵金属等金相样品制备的实验室一般都会常备氧化铝抛光液。
氧化铝抛光液作为**终抛光液,是为了去除样品表面肉眼不可见的表面变形层。尤其是使用高倍物镜、偏振光、微分干涉或EBSD 技术,来检测、评定样品时,去除这种微小变形是必需的。 佛山碱性抛光液厂家
苏州豪麦瑞材料科技有限公司创建于2014-04-24,注册资金 50-100万元,办公设施齐全,办公环境优越,已***实行网络化办公,**提高了速度和效率。专业的团队大多数员工都有多年工作经验,熟悉行业专业知识技能,致力于发展HOMRAY的品牌。我公司拥有强大的技术实力,多年来一直专注于苏州豪麦瑞材料科技有限公司(Homray Material Company)成立于2014年,是由一群在半导体行业从业多年的专业团队所组成,专注于半导体技术和资源的发展与整合,现以进口碳化硅晶圆,供应切割、研磨及抛光等相关制程的材料与加工设备,氧化铝研磨球,氧化锆研磨球,陶瓷研磨球,陶瓷精加工,抛光液。的发展和创新,打造高指标产品和服务。豪麦瑞材料科技始终以质量为发展,把顾客的满意作为公司发展的动力,致力于为顾客带来***的[ "陶瓷研磨球", "碳化硅", "陶瓷精加工", "抛光液" ]。
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