半导体制造压缩空气质量标准是多少？

瑞沃斯流体机械(苏州)有限公司2024-01-04

国际上主要采用的半导体空压系统标准包括以下几个： 　　ISO 8573-1-2010：这是由国际标准化组织(ISO)发布的一份标准，规定了空气质量的各个等级，以及检测方法和限制值等。 　　GB/T 2819-2011：这是中国国家标准化管理委员会发布的一份标准，规定了压缩空气、氮气和惰性气体的品质指标、检测方法和限制值等。 　　SEMI S2-0715：这是美国半导体设备与材料国际协会(SEMI)发布的一项标准，要求半导体设备必须符合人身安全、环境保护和设备性能等方面的规定。 　　SEMI S6-0715：这也是SEMI发布的一项标准，要求半导体设备必须符合电气安全、机械安全和防火防爆等方面的规定。

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